纸筒管C2B-281393853

纸筒管C2B-2813938532 光刻机就像面条机

光刻机类似于一个面条机，纸筒管C2B-281393853是加工制作“面条”——芯片的核心设备。不同的面条机，纸筒管C2B-281393853做出来的面条质量并不相同，有的粗，有的细，有的慢，有的快。

光刻机能够做出来多小的图形尺寸，纸筒管C2B-281393853跟光刻机的结构和性能有关。因此，纸筒管C2B-281393853光刻机自发明之后，为了使造出来的“面条”效果更好，人类对光刻机进行了不断的改进。

首先是曝光光源的更新换代。从最初的436纳米波长光源，纸筒管C2B-281393853到DUV（深紫外）所用的248纳米和193纳米波长，纸筒管C2B-281393853再到目前最顶级的EUV（极紫外）13.5纳米波长，光源波长不断缩小，曝光能够获得的分辨率自然不断提高。如果从使用光源来看，光刻机的发展主要经历了5代，类似于一个面条机从1.0到5.0的版本。

纸筒管C2B-281393853光刻机主要发展历程

纸筒管C2B-281393853再就是光学系统结构的演进。

20世纪六七十年代，纸筒管C2B-281393853接触式光刻机是集成电路制造的主流设备。这种机器曝光过程中掩膜版与硅片上的光刻胶直接接触，纸筒管C2B-281393853优点是可以减小光的衍射效应，缺点是会污染损坏掩膜版和光刻胶，缩短掩膜版使用寿命，且极易形成图形缺陷，影响良率。

为了解决上述问题，纸筒管C2B-28139385320世纪70年代开始采用接近式光刻机。这种光刻机在掩膜版和硅片之间有微小间距，纸筒管C2B-281393853由于掩膜版和硅片间距越小，光刻工艺的分辨率越高，当二者间距接近几十微米时，就很难再减小，而且会受衍射效应的影响。